? 静电驱动金属膜的可调电容的原理和特点|技术支持|深圳市百斯特电子有限公司

百斯特電子專業生產可調電阻,可調電容,電位器,輕觸開關,DC插座元器件廠家

中文版 | ENGLISH | 設為首頁
百斯特新聞

百斯特新聞

技術支持

您當前位置:深圳市百斯特電子有限公司 >> 新聞動態 >> 技術支持 >> 瀏覽新聞

靜電驅動金屬膜的可調電容的原理和特點

來源:百斯特電子發布時間:2013年11月04日

  在可調電容的結構中,用靜電力驅動的平行板結構是最常用的,因為平行板可調電容用表面微機械工藝很容易制造,但是由于對于這種電容結構,電壓超過pull-in閾值電壓時,會發生失穩效應,這種可調電容器的理論可調率限制在50%以下。而且因為寄生電容的存在,實際可達到的可調率遠遠低于理論值。所以靜電力驅動是MEMS器件中最簡單、最常用的驅動方式。

靜電驅動金屬膜的可調電容的工作原理

兩個帶異性電荷的電極板之間具有吸引力,在結構上采用兩塊分開一定距離的極板。當施加電壓時,極板在極板間吸引力的作用下發生變形。在所有的電容器中,施加的電壓均會擠壓極板間的電介質,從該式可以很清楚地看出力與距離、力與電壓的關系是非線性的。但是在某些情況下可通過閉環控制來線性化。

靜電力驅動的可調電容器的特點

理論上這種執行器的力-電壓特性為非線性的,但是它們的耗能小并且易于制造,所以到目前為止靜電力驅動是最常用的驅動方式。靜電力驅動的可調電容器具有耐用性好,器件制造相對簡單,而且反應速度相對比較快,受環境改變的影響比較小等優點。在原理上,靜電力驅動幾乎不消耗能量,只在保持某種狀態的時候需要消耗一些能量。由于制造兩個具有微小間隙的導電極板相對簡單,所以它們被廣泛應用于微機械器件中。

本文鏈接:http://lyhaiyun.com/news/xydt_1081.html

可調電阻 | USB母座 | | 輕觸開關 | DC插座 |網站地圖
  • 掃一掃微信